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利用自主开发的蒙特卡罗器件模拟软件,对n沟肖特基势垒隧穿晶体管(SBTT)的输出特性和转移特性进行了模拟,详细分析了沟道区掺杂浓度,源漏硅化物区深度以及栅氧化层厚度对SBTT特性的影响.
n沟肖特基势垒隧穿晶体管特性研究
【摘 要】
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利用自主开发的蒙特卡罗器件模拟软件,对n沟肖特基势垒隧穿晶体管(SBTT)的输出特性和转移特性进行了模拟,详细分析了沟道区掺杂浓度,源漏硅化物区深度以及栅氧化层厚度对SBTT
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2004年1期
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