【摘 要】
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采用光谱在线技术（OES）检测了大气压 Ar／NH3 DBD 等离子体中的主要粒子为 NH，N，N＋，N2， Ar，Hα，OH。NH 是 NH3分解的产物，激发态 Ar＊和 NH3分子的潘宁碰撞生成激发态中性粒子 NH（c 1Π）和 NH
【机 构】
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大连大学物理科学与技术学院,大连理工大学物理与光电工程学院
【基金项目】
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The National Natural Science Foundation of China （51077006）
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采用光谱在线技术（OES）检测了大气压 Ar／NH3 DBD 等离子体中的主要粒子为 NH，N，N＋，N2， Ar，Hα，OH。NH 是 NH3分解的产物，激发态 Ar＊和 NH3分子的潘宁碰撞生成激发态中性粒子 NH（c 1Π）和 NH（A 3Π）。674．5 nm 处 N 原子谱线表明等离子体中产生了 N 活性原子，为大气压 Ar／NH3同轴介质阻挡放电等离子体合成ε-Fe3 N 磁性颗粒提供了可能。研究了各主要粒子谱线强度随 NH3流量和外加电压峰峰值的变化规律，研究结果表明：NH3流量相同时，随外
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