【摘 要】
：
浅沟槽隔离(STI)工艺由于具有制程温度低、无鸟嘴效应、表面平坦化好等优点而成为MOS器件的主要隔离技术。使用TCAD软件分别对采用65 nm工艺具有不同STI宽度(WSTI)的nMOS/pMO
【机 构】
：
河北工业大学微电子技术与材料研究所,
论文部分内容阅读
浅沟槽隔离(STI)工艺由于具有制程温度低、无鸟嘴效应、表面平坦化好等优点而成为MOS器件的主要隔离技术。使用TCAD软件分别对采用65 nm工艺具有不同STI宽度(WSTI)的nMOS/pMOS器件进行了工艺和器件仿真。结果表明,当WSTI=0.2μm时,压应力值为-30 MPa;当WSTI=0.75μm时,压应力值为-136 MPa,沟道中的压应力随STI宽度的增加而逐渐变大;当WSTI从0.2μm增大到0.75μm时,nMOS的Idsat降低了约7.1%,pMOS的Idsat提高了约6.67%,即随着STI宽度的增加nMOS的Idsat降低,pMOS的Idsat增加。因此,在版图设计中,可以通过改变STI宽度的方法来提高器件的性能。另外,在器件模型中应考虑加入WSTI参数,以达到对电路性能更精确的仿真。
其他文献
目的探讨酒精性肝病超声影像学改变及其在临床诊断中的应用价值。方法回顾性分析临床诊断为酒精性肝病的132例患者的超声影像图特点并进行统计分析。结果 132例酒精性肝病患
目的观察乌体林斯对复治肺结核患者治疗作用。方法将52例复治肺结核患者分2组,试验组26例,对照组26例,两组患者均采用3DL2ZG/3DL2Z/6DL2E治疗,试验组加用乌体林斯,观察痰菌涂
目的 检测凋亡抑制基因Survivin、血管内皮生长因子(VEGF)和微血管密度(MVD)在子宫内膜异位症(endometriosis，EM)组织及子宫腺肌病(adenomyosis，AM)组织中的表达，探讨Survivin在
目的分析地塞米松在剖宫产术后处理中的作用,提高术后临床用药的合理性。方法随机抽取2011年6月至2012年6月,在我院接受剖宫产手术的患者资料,共收录80例;将80例平均分为对照
<正>工程机械信用销售体系要实现风险的降低,维系体系的健康发展,不但需要高明的"医术",更需要自身管理、业务、风控等全方位的支撑。7月份,笔者密集参加了几场工程机械代理
随着器件尺寸的进一步减小,由量子效应导致的能带分裂对MOSFET中阈值电压特性的影响变得越来越重要。提出了一个包含量子效应(QME)的短沟道金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)分
包拯作为中国历史著名的能臣清吏在文学创作中,成为虚无的箭垛式人物,本文旨在从《宋史·包拯传》分析包拯的历史形象。
通过对脑损伤早期精神症状分析与脑神经心理结构功能定位相结合进行综合性分析,来预测和评估病情严重程度及所需镇静深度,早期、择量、显效"有的放失"选用镇静药物干预性治疗
学生需求分析是课程设计过程中的重要环节,也是教师组织教学、使用教材、决定教学方法、评估教学结果的依据。本研究通过问卷调查和访谈的形式,对我校2009级专科生的"学习环
学界对豫东地区考古有着,四方文化的荟萃之地,特殊的认识,豫东西部地区是文化交流的平台,是四方文化的荟萃之地,此次调查实为了更好的了解东西方文化的交流情况,先商文化的分