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扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较
扫描电子显微镜与原子力显微镜技术之比较
来源 :中国体视学与图像分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qinzi9509
【摘 要】
:
SEM和AFM技术是最常用的表面分析方法。本文介绍了SEM和AFM两种技术的原理,描述了这两种技术在样品形貌结构、成分分析和实验环境等方面的性能,比较了两种技术的特性和不足,
【作 者】
:
陈耀文
林月娟
张海丹
沈智威
沈忠英
【机 构】
:
汕头大学中心实验室,汕头大学中心实验室,汕头大学中心实验室,汕头大学中心实验室,汕头大学医学院 广东汕头515063,广东汕头515063,广东汕头515063,广东汕头515063,广东汕头5150
【出 处】
:
中国体视学与图像分析
【发表日期】
:
2006年01期
【关键词】
:
原子力显微镜
扫描电子显微镜
表面形貌
化学成分
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SEM和AFM技术是最常用的表面分析方法。本文介绍了SEM和AFM两种技术的原理,描述了这两种技术在样品形貌结构、成分分析和实验环境等方面的性能,比较了两种技术的特性和不足,充分利用两种技术的互补性,将两种技术结合使用,有助于更加深刻地认识样品的特性。
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