MEMS光纤压力传感器压力膜片的仿真与分析

来源 :河北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：YouYiDian

【摘要】

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阐述了一种使用周边固定的圆形膜片的反射式强度调制型MEMS光纤压力传感器的工作原理,在现有外界压力下的膜片应力、应变及固有频率公式的基础上,推导了膜片应力、应变和固有

【作者】

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祝彦潘亚涛刘光辉李小亭

【机构】

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河北大学质量技术监督学院,河北大学物理科学与技术学院,河北省保定市交通运输局公路设备维护处

【出处】

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河北大学学报:自然科学版

【发表日期】

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2020年2期

【关键词】

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圆形膜片光纤压力传感器有限元分析修正模型 circular diaphragmfiber optic pressure sensorfinite elem

【基金项目】

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河北省自然科学基金资助项目(E2017201142),2018年度教育部“春晖计划”合作项目

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阐述了一种使用周边固定的圆形膜片的反射式强度调制型MEMS光纤压力传感器的工作原理,在现有外界压力下的膜片应力、应变及固有频率公式的基础上,推导了膜片应力、应变和固有频率三者随传感器尺度变化的一般规律.利用有限元分析软件ANSYS对推演出的规律仿真模拟和分析,验证了此规律的正确性和普适性,同时修正分析模型,总结了理论公式与实际应用之间的联系与区别.

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