【摘 要】
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场发射扫描电子显微镜(FESEM)在研究材料表面形貌领域有广泛的应用.荷电现象是扫描电镜中影响图像质量的重要原因之一.为了消除荷电现象,获得不导电样品真实清晰的扫描电镜图
【基金项目】
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湖北省高等学校实验室研究项目(HBSY2019-15)资助
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场发射扫描电子显微镜(FESEM)在研究材料表面形貌领域有广泛的应用.荷电现象是扫描电镜中影响图像质量的重要原因之一.为了消除荷电现象,获得不导电样品真实清晰的扫描电镜图片,从荷电效应的产生机理出发,利用配备X线能谱仪的场发射扫描电镜,通过调节加速电压、驻留时间、探测器类型、扫描方式、及光阑孔径等参数,对比分析土壤、聚苯乙烯微球、块体材料、ZnCo2 O4纳米针、石膏等材料在消除荷电现象前后的FESEM图片,并探讨了在不镀膜情况下各种试验参数对消除荷电现象的作用机制,分析每个参数对消除荷电的影响原理,并提
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