论文部分内容阅读
给出了一种基于UV-LIGA技术的静电悬浮转子微陀螺，提出了控制系统组成方案，为了实现转子的起支控制和稳定悬浮，模糊控制被应用于该系统中，首先，对轴向压膜阻尼和滑膜阻尼进行有限元分析，并用解析法进行分析，计算结果表明两种方法的一致性，从而得到阻尼的解析表达式。然后，建立了带偏置电压的双边支承下的数学模型，并对数学模型进行模糊控制仿真研究，仿真结果表明，相对于PID控制，模糊控制具有较强的鲁棒性，具有响应速度快，自适应能力强的优点。最后，设计了悬浮控制系统，给出了硬件和软件组成。