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本文介绍了64×64元GaN基紫外图像传感器的结构设计和制作过程,以及需要注意的关键技术，由GaN基紫外探测器组成的成像系统体积小，性能可靠，在军事民用两方面都有着独特的优势。
64×64元GaN基紫外图像传感器的设计
【摘 要】
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本文介绍了64×64元GaN基紫外图像传感器的结构设计和制作过程,以及需要注意的关键技术，由GaN基紫外探测器组成的成像系统体积小，性能可靠，在军事民用两方面都有着独特的优势。
【机 构】
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重庆光电技术研究所,重庆,400060
【出 处】
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城市道桥与防洪
【发表日期】
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2004年期
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