小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构

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通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶Ka线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20 nm附近的正入射反射率接近10%。
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