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<正> 南京电子器件研究所开发了76.2 mm(3英寸)InP基电光调制器和光电探测器圆片工艺,所研制器件工作于1 550 nm波段。电光调制器如图1(a)所示,带宽达40 GHz[如图1(b)所示],半波电压1.8 V,消光比大于20 dB。光电探测器如图2(a)所示,带宽达40 GHz以上[如图2(b)所示],响应度为0.3A/W,暗电流为45 nA。