【摘 要】
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作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展,探讨了AFM纳米加工过程中的机理,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化,针尖诱导表面改性,纳米刻蚀加工,纳米化学反应,单分
【机 构】
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江苏大学微米纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013
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作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展,探讨了AFM纳米加工过程中的机理,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化,针尖诱导表面改性,纳米刻蚀加工,纳米化学反应,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等6种基于AFM的纳米加工方法,为今后纳米信息产品的研究和开发奠定了基础.纳米加工技术是一门综合性的交叉学科,研究内容涉及到物理学、化学、生物学、材料学以及机械学等许多方面,文中不仅指出了现阶段研究中存在的问题,并提出了今后需要重视的研究方向.
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