【摘 要】
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功能: 这是一种力求实现绝对精度的高精度测定显微镜。总体和载物台呈一体化,采用悬臂式自由结构,以解决走行精度低下的问题。
Function: This is a high-precision measur
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功能: 这是一种力求实现绝对精度的高精度测定显微镜。总体和载物台呈一体化,采用悬臂式自由结构,以解决走行精度低下的问题。
Function: This is a high-precision measuring microscope that seeks to achieve absolute accuracy. Overall and stage are integrated, the use of cantilever free structure to solve the problem of walking accuracy is low.
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