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一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法.
微机械惯性传感器检测平台的设计与应用
【摘 要】
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一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台,介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法.
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
：
电子技术应用
【发表日期】
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2002年10期
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