平面玻璃窗口片光学表面零级疵病抛光工艺研究

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wcfsoa2009
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总结了窗口片的抛光工艺现状,对玻璃窗口片的研磨、抛光和清洗原理及主要工艺因素进行了详细的分析。在考虑磨料、抛光辅料、环境、清洗工艺、抛光液浓度及pH值、磨盘转速、压力等多种工艺条件的基础上,进行了多次实验,并对抛光工艺改进前后的窗口片表面进行了扫描电镜(SEM)检测。结果表明,使用新抛光工艺加工的窗口片表面粗糙度、擦痕等微观缺陷明显得到改善,零级表面疵病标准的成品率达到23%。 Summarizes the status of the window sheet polishing process, the glass window sheet grinding, polishing and cleaning principles and the main process factors were analyzed in detail. Several experiments were carried out on the basis of various processing conditions such as abrasive, polishing auxiliary materials, environment, cleaning process, concentration and pH value of polishing liquid, rotating speed of disc and pressure, etc. The surface of the window sheet before and after the polishing process was improved Scanning electron microscopy (SEM) test. The results show that the micro-defects such as the surface roughness and scratches of the window sheet processed by the new polishing process are obviously improved, and the standard yield of the zero-grade surface defect is 23%.
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