【摘 要】
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预计1996～2000年之间光学光刻市场会以15%的平均年递增率(CAGR)增长,平均销售价格以5.4%的速度增长,销售市场将由 i线系统转向深紫外系统。目前仅有 Nikon 一家公司在生产激
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预计1996～2000年之间光学光刻市场会以15%的平均年递增率(CAGR)增长,平均销售价格以5.4%的速度增长,销售市场将由 i线系统转向深紫外系统。目前仅有 Nikon 一家公司在生产激光 x 射线光刻曝光机。到2000年同步加速器源和激光源将平分 x 射线市场,而且同步加速器源最终有望占主导地位。在步进曝光产品方面,G 线系统在1995年所占的份额
The optical lithography market is expected to grow at 15% CAGR between 1996 and 2000 with an average selling price of 5.4%. The sales market will shift from the i-line system to the deep UV system. Only Nikon is currently producing laser x-ray lithography. By 2000, synchrotron sources and laser sources will bisect the x-ray market, and eventually the synchrotron source is expected to dominate. In the stepper exposure products, G line system in 1995 share
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