【摘 要】
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1.前言用于振动和位移测量的光学技术吸引了很大的研究兴趣。理想的,应该是所研究的表面和传感器之间没有机械接触,否则,因表面有负荷将会干扰其运动。解决这类测量问题的一
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1.前言用于振动和位移测量的光学技术吸引了很大的研究兴趣。理想的,应该是所研究的表面和传感器之间没有机械接触,否则,因表面有负荷将会干扰其运动。解决这类测量问题的一个通常办法是使用外差信号处理的光干涉测量法。虽然干涉测量系统的分辨率很高,但它们
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