【摘 要】
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利用于涉并模抑制和光电信号共模抑制技术，辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术，可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓；本文论述了上述测量系统的原理、结构和误
【机 构】
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安激机电学院电气工程系!芜湖,241000
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利用于涉并模抑制和光电信号共模抑制技术，辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术，可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓；本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析，并讨论了三维微观轮廓的定义问题．
It can be applied in the non-destructive measurement of the three-dimensional micro-profile of the super-smooth surface with the help of co-mode suppression and common-mode rejection of optical signals, with the help of two-dimensional scanning platform and computer control and data processing technology. This paper discusses the principle of the above measurement system, Structure and error analysis, and discusses the definition of three-dimensional micro-profile.
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