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在Bridgman炉中涡电流检测晶面位置和形状的可行性分析
在Bridgman炉中涡电流检测晶面位置和形状的可行性分析
来源 :工程热物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:BecauseArc
【摘 要】
:
Bridgman生长方法已经广泛的应用于融化时大的单晶体生长计算。在生长过程中液体固体分界面位置和形状对生长控制十分重要但难检测。利用许多半导体材料固体和液体状态的电导
【作 者】
:
孙学光
黄为民
【机 构】
:
上海理工大学动力学院,上海理工大学动力学院上海
【出 处】
:
工程热物理学报
【发表日期】
:
2004年S1期
【关键词】
:
涡电流
位置
形状
eddy current
position
shape
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助(No.50276036)
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Bridgman生长方法已经广泛的应用于融化时大的单晶体生长计算。在生长过程中液体固体分界面位置和形状对生长控制十分重要但难检测。利用许多半导体材料固体和液体状态的电导率的区别,用涡电流检测对生产控制。本文也对选择相应的固态材料对GaAs生长进行冷态实验进行了可行性分析。
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