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用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法.本文从光-热-声波转换的基本原理出发,推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法,给出了具体的实验设置、初步实验结果和数据分析.
激光激发兰姆波
【摘 要】
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用激光激发超声兰姆波是近年提出的一种新的微传感器构成方法.本文从光-热-声波转换的基本原理出发,推导出激光在硅薄膜中激发兰姆波的条件和产生给定模式兰姆波的方法,给出
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2001年4期
【基金项目】
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中国科学院院长基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)
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