罗门哈斯电子材料公司推出用于90nm低k系列阻挡层研磨液

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaodaoluan

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年11期

【关键词】

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