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NewView3DPV-TF表面轮廓仪能够观察并表征激光划线工艺的性能。基于白光扫描干涉显微镜(SWLI),它能帮助在薄膜太阳能光伏面板上快速表征刻蚀深度和3D沟道形貌,以及激光光束间的变化和表面碎片。该系统的工作台架尺寸可达1×1m至2×2m。其核心基于ZYGO的New View7000系列。测量过程精密,高速,非接触,且样品无需特殊处理。