【摘 要】
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在研究功率肖特基整流管的基础上,为提高反向击穿电压、漏电流、抗浪涌能力,采用加场限环的方法,设计并制造了10 A/300 V结势垒肖特基整流管(JBS)。从有源区参数、外延材料、
【基金项目】
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国家自然科学基金(61366006);甘肃省科技支撑计划(1304GKCA012)
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在研究功率肖特基整流管的基础上,为提高反向击穿电压、漏电流、抗浪涌能力,采用加场限环的方法,设计并制造了10 A/300 V结势垒肖特基整流管(JBS)。从有源区参数、外延材料、流片工艺、产品电参数、可靠性等方面进行了全面设计。经测试,电参数水平正向电压VF为0.85~0.856 V,反向电流IR为4~50.5μA,反向电压VR为307.5~465.2 V,抗静电水平从低温退火的6~12 kV提高到15 kV,经高温直流老化后,可靠性电参数水平满足预期的设计要求。
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