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采用空心阴极等离子体化学气相沉积法，在甲烷一氨气、氢气混合气体体系下，制备出了非晶碳氮薄膜。利用原子力显微镜（AFM）及X射线光电子能谱（XPS）对薄膜的表面形貌、成分及微观结构进行了测试和表征。结果表明，薄膜的表面光滑、致密，均方根粗糙度小于0．5nm；薄膜中的氮含量随NH3（H2）流速的增加呈现降低的趋势，sp^2C—N及sp^3C—N键含量均随氮含量的增加而增加。