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该文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散的作用.此外,还发现奇怪的位错明衬度缺陷,分析了其产生原因.
铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究
【摘 要】
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该文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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2003年z1期
【基金项目】
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国家自然科学基金(59976035),教育部优秀青年教师基金和教育部博士点基金资助项目.
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