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针对低温等离子体设备系统的特点,构建了基于以太网的低温等离子体测控系统。设计开发了带有以太网和RS485接口的设备节点电路板,采用C#编写了上位机软件。测试发现通过上位机软件或者手动的方式可以控制真空泵的抽速、工作气体的进气量、直流高压电源放电电压。系统工作稳定、可靠,实时性满足控制要求。