微混合器研究进展

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【摘要】

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微混合器作为微全分析系统重要的组成部分,是目前微机电系统(MEMS)领域内的研究热点.文章介绍了微混合器的设计要求与目标、加工方法与材料的选择、微混合的特点与混合机理.

【作者】

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朱丽侯丽雅章维一

【机构】

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南京理工大学机械工程学院

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

微机电系统微全分析系统微混合器主动混合器被动混合器 MEMSmicro total analysis systemsmicromixeractive m

【基金项目】

：

中国科学院资助项目，国家博士科研项目

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微混合器作为微全分析系统重要的组成部分,是目前微机电系统(MEMS)领域内的研究热点.文章介绍了微混合器的设计要求与目标、加工方法与材料的选择、微混合的特点与混合机理.微混合器一般可分为主动混合器与被动混合器,基于此分类方法,文章综述了微混合器的国内外研究现状,并讨论了目前研究中存在的一些问题,展望了微混合器的研究前景.

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