不同衬底温度对ZnO薄膜结构和光学性质的影响

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kateyg2919

【摘要】

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利用磁控溅射在玻璃基片上制备了不同衬底温度下的ZnO薄膜,借助X射线衍射仪（XRD）、吸收光谱、光致发光谱（PL）等手段研究了衬底温度对ZnO薄膜的微结构、光致发光性能的影响.结果表

【作者】

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贾相华黄海亮付斯年朱瑞华左桂鸿曹洪忠李月英

【机构】

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牡丹江师范学院黑龙江省新型碳基功能与超硬材料重点实验室

【出处】

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哈尔滨理工大学学报

【发表日期】

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2014年1期

【关键词】

：

ZNO薄膜衬底温度光致发光谱 ZnO thin film substrate temperature photoluminescence

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利用磁控溅射在玻璃基片上制备了不同衬底温度下的ZnO薄膜,借助X射线衍射仪（XRD）、吸收光谱、光致发光谱（PL）等手段研究了衬底温度对ZnO薄膜的微结构、光致发光性能的影响.结果表明：所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向;ZnO薄膜在可见区的吸收系数很小,在紫外区有很高的吸收系数;室温下的荧光光谱显示薄膜具有较强的紫光发射.

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