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以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的MEMS传感器，困其集成度高，并可与信号处理电路集成在一起，从而大大降低了生产成本，已经在汽车、消费和通信电子领域得到了广泛的应用。
热对流式双轴加速度传感器及其在消费类电子产品中的应用
【摘 要】
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以半导体技术和微机电加工工艺设计、制造的MEMS传感器，困其集成度高，并可与信号处理电路集成在一起，从而大大降低了生产成本，已经在汽车、消费和通信电子领域得到了广泛的应用。
【机 构】
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上海市传感技术学会理事
【出 处】
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电子设计应用
【发表日期】
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2006年4期
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