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叙述了影响离子注入均匀性的几个主要因素，其中包括束流品质，离子束聚焦与扫描以及束流大小选择等。同时介绍了如何控制这些因素来获取优异的注入均匀性，通过这些控制手段，均匀性可以优于１ ％ ，结果令人满意。
离子注入均匀性的工艺控制
【摘 要】
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叙述了影响离子注入均匀性的几个主要因素，其中包括束流品质，离子束聚焦与扫描以及束流大小选择等。同时介绍了如何控制这些因素来获取优异的注入均匀性，通过这些控制手段，均匀性
【机 构】
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重庆光电技术研究所!重庆400060
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1999年4期
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