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还原炉运行间隔时间对三氯氢硅总进料平稳性的影响
还原炉运行间隔时间对三氯氢硅总进料平稳性的影响
来源 :辽宁化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bitao6633620
【摘 要】
:
根据单台24对棒还原炉的SiHCl3进料曲线,采用Matlab编程,分析了30台还原炉的运行间隔时间对SiHCl3总进料量平稳性的影响,并计算出最合理的运行间隔时间为4 h,方法和结果可作
【作 者】
:
杨楠
詹水华
【机 构】
:
新疆东方希望新能源有限公司; 江苏双良新能源装备有限公司;
【出 处】
:
辽宁化工
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
多晶硅
还原炉
间隔时间
三氯氢硅
平稳性
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根据单台24对棒还原炉的SiHCl
3
进料曲线,采用Matlab编程,分析了30台还原炉的运行间隔时间对SiHCl
3
总进料量平稳性的影响,并计算出最合理的运行间隔时间为4 h,方法和结果可作为实际生产运行的参考和指导。
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