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根据光学非球面检测平台结构,建立了误差补偿数学模型。用激光干涉仪检测三轴定位误差和直线度误差,采用最小二乘法拟合出多项式系数,得到误差曲线,叠加后实现了误差补偿。测量出3个运动坐标轴两两之间的垂直度误差,采用坐标旋转完成误差补偿。利用机构误差的分析和检定技术,完成非实时误差的补偿。利用标准球做了对比试验。结果表明,经误差补偿后的非球面检测平台精度明显提高。