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本文提出了轻微静电损伤和严重静电损伤的概念,简述了静电放电模型,指出了提高器件抗静电放电能力的对策。
静电损伤及其防护措施
【摘 要】
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本文提出了轻微静电损伤和严重静电损伤的概念,简述了静电放电模型,指出了提高器件抗静电放电能力的对策。
【机 构】
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机电部第13研究所,机电部第13研究所石家庄050051,石家庄050051
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1992年2期
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