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该发明是一种黄磷尾气中有害气体的低温微氧处理方法，其特征在于：含HCN，PH3，H2S，COS，CS2的混合气体，空速为1000～5000h^-1，经换热器加热至150～200℃后送至催化水解反应器，90％以上的HCN和85％以上的COS、CS2可分别被水解成NH，和CO、H2S和CO2；之后，混合气进入选择性催化氧化反应器，PH，和H2S被催化氧化成P2O5和S；经过两段处理后的混合气在精脱氰反应器中进一步去除有害气体，又经过精脱硫反应器脱除硫化物，NH3被选择性催化氧化成N2，混合气体得到净化。该发明