【摘 要】
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论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的
【机 构】
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论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理，并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针，它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变， 其纵向分辨率达到了０．０１ｎｍ 。
It is demonstrated that the silicon nitride triangular microprobe can be used as an optical principle of a back-point diffraction plate. Based on this principle, a micro-interference optical probe for a scanning force microscope is designed, which utilizes the micro-probe surface geometry reflection The interference between the wave and the back-point diffracted wave is used to detect the deformation of the microprobe and its longitudinal resolution reaches 0.01 nm.
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