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Apriori算法是关联规则中的一种典型算法。该算法结构简单，以递归统计为基础，采用逐层搜索的方式对大量数据进行提取，挖掘数据记录之间的关联规则。针对Apriori算法产生候选记录集过多的问题．提出了一种改进方法减少候选记录集的组合个数。一项MOCVD工艺包含了流量、压力、温度等多种实时数据，数据量庞大，根据改进方法对MOCVD工艺中所产生的实时数据以及操作记录进行分析、挖掘出这些数据记录之间的关联关系；然后根据MOCVD工艺结果．判断这些关联关系对MOCVD工艺的影响，并作为下一次工艺数据编辑的依据。