【摘 要】
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基于巨磁阻效应的磁传感技术与标准CMOS电路工艺高度兼容,相比传统的霍尔元件、互感线圈及各向异性磁阻等传感器,在灵敏度、功耗、体积和热稳定性等方面具备一定的优势,应用前景十分广阔.该文简要介绍了基于巨磁阻效应的磁场传感器在电流计量、汽车工业、罗盘导航、生物检测及无损探测等领域的最新研究进展,讨论和总结了不同应用场景下各类巨磁阻传感器的工作机理及核心结构,这些研究可以为开发磁敏传感器的新型应用方式提供启示和思路.
【机 构】
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西安交通大学电子科学与工程学院,电子陶瓷与器件教育部重点实验室与国际电介质研究中心,陕西西安 710049;西安交通大学高端制造装备协同创新中心,陕西西安 710049;西安交通大学微纳制造与测试技术
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基于巨磁阻效应的磁传感技术与标准CMOS电路工艺高度兼容,相比传统的霍尔元件、互感线圈及各向异性磁阻等传感器,在灵敏度、功耗、体积和热稳定性等方面具备一定的优势,应用前景十分广阔.该文简要介绍了基于巨磁阻效应的磁场传感器在电流计量、汽车工业、罗盘导航、生物检测及无损探测等领域的最新研究进展,讨论和总结了不同应用场景下各类巨磁阻传感器的工作机理及核心结构,这些研究可以为开发磁敏传感器的新型应用方式提供启示和思路.
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