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基于自激振动原理的静电驱动器中微梁的受力研究
基于自激振动原理的静电驱动器中微梁的受力研究
来源 :科技传播 | 被引量 : 0次 | 上传用户:netrascal
【摘 要】
:
针对一种基于自激振动原理的静电驱动器中微梁受力展开理论分析计算和试验误差分析。
【作 者】
:
车云龙
【机 构】
:
北京航空航天大学
【出 处】
:
科技传播
【发表日期】
:
2014年1期
【关键词】
:
微梁
静电驱动
自激振动
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针对一种基于自激振动原理的静电驱动器中微梁受力展开理论分析计算和试验误差分析。
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