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基于生物免疫系统的反馈机理,提出了一种用免疫控制器与传统PI控制器相结合的复合控制方法,即将传统PI控制器与免疫控制器相"串联",在传统PI控制器参数已经优化的情况下,用免疫控制器对其输出进行"再处理".并针对实际系统提出了一种限制超调量的误差参数函数,介绍了控制系统参数整定的方法.仿真和实验表明,这种复合控制的方法能有效地改善金属有机化合物化学气相淀积系统温度的控制性能.