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本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84%、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料，亦可作硬质镀甚及仿金镀膜层。
氮化锆薄膜性能的研究
【摘 要】
：
本文叙述反应溅射制备的氮化锆薄膜的光学、机械、腐蚀及老化性能。它具有反射率为84%、耐紫外光性能良好是一种比较理想的太阳能装置的反光材料，亦可作硬质镀甚及仿金镀膜层
【机 构】
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北京市太阳能研究所
【出 处】
：
表面工程
【发表日期】
：
1991年4期
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