【摘 要】
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原子力显微镜是一种非常有用的精密量测仪器,此仪器具有纳米等级的解析能力并适用于导体与非导体样本且不受使用环境所限制,为目前不可或缺的微纳米量测工具。然而,传统原子
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原子力显微镜是一种非常有用的精密量测仪器,此仪器具有纳米等级的解析能力并适用于导体与非导体样本且不受使用环境所限制,为目前不可或缺的微纳米量测工具。然而,传统原子力显微镜所使用的扫描方式,在轨迹上容易造成扫描仪的机械共振问题,且无法去除不必要的扫描区域,因此,对于一个大范围与高解析度的影像要求,必须要以一个更长的扫描时间来达成,无法给予一个有效率的扫描表现,为目前原子力显微镜应用上的主要缺陷。
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