光掩膜版衍射条纹不良研究及改善分析

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基于衍射条纹的产生机理,从图形设计和腔室环境方面提出改善措施,设置不同的重叠区与图形重叠占比、不同的重叠区位置类型以及不同腔室温度和相对湿度波动,观察版材的衍射条纹变化。试验表明,随着重叠区与图形重叠比例的增加,其衍射条纹不良的严重程度逐渐增加;与混合重叠区位置类型相比,采用单一重叠区位置类型在衍射条纹上表现更佳;腔室温度波动超过0.01℃、相对湿度波动超过32%时,聚焦气流波动超标,衍射条纹不良明显变严重。通过管控图形设计和光刻温湿度,在一定程度上可以降低衍射条纹的发生,对于其他条纹不良的改善也有一定的借鉴意义。
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