【摘 要】
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采用离子溅射法在聚二甲基硅氧烷（PDMS）表面上沉积30～50nm厚的Au膜。基于Au与PDMS热膨胀系数的差异,有效制备出规则有序且周期可控的光栅结构和锯齿结构褶皱图案。通过局部遮挡镀膜方式,实验研究了Au膜厚度及PDMS表面特征结构对褶皱图案的影响规律。研究发现特征结构为圆形时,褶皱图案以圆形特征结构为中心,沿径向向周围辐射并逐渐形成分叉,从而获得稳定的褶皱周期,Au膜中的应力与圆的径向垂直。
【基金项目】
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国家自然科学基金青年项目（51805371）； 天津市自然科学基金青年项目（18JCQNJC75400）资助；
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采用离子溅射法在聚二甲基硅氧烷（PDMS）表面上沉积30～50nm厚的Au膜。基于Au与PDMS热膨胀系数的差异,有效制备出规则有序且周期可控的光栅结构和锯齿结构褶皱图案。通过局部遮挡镀膜方式,实验研究了Au膜厚度及PDMS表面特征结构对褶皱图案的影响规律。研究发现特征结构为圆形时,褶皱图案以圆形特征结构为中心,沿径向向周围辐射并逐渐形成分叉,从而获得稳定的褶皱周期,Au膜中的应力与圆的径向垂直。特征结构为微沟槽时,褶皱垂直于微沟槽的边缘,微沟槽内的褶皱方向一致且保持很好的周期稳定性。对Au/PDMS系统进行有限元非线性屈曲分析,结果表明,随着膜厚的增加,褶皱的周期随之增大,与实验结果相吻合。
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