应用于准分子激光波面整形的二元光学元件的设计

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wushiguo208

【摘要】

：

设计了一种应用于KrF准分子激光波面整形的二元光学元件(BOE),实现了将波面整形变换为巴特沃斯(Butternorth)分布。采用盖师贝格-撒克斯通(Gerchberg-Saxton,GS)算法实现优化设计,使用MATLAB软件模拟入射和出射光场。通过对比迭代次数分别为10、100和1000次的模拟结果,研究盖师贝格-撒克斯通算法中迭代次数对整形效果的影响。模拟出迭代次数为106次的整形结果,并且得到二元光学元件的相位分布。模拟结果表明,出射光场呈巴特沃斯分布,实现了波面整形,矩形光斑能量占总能量的75

【作者】

：

刘勋陈涛左铁钏

【机构】

：

北京工业大学激光工程研究院国家产学研激光技术中心,北京100022

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

2008年35期

【关键词】

：

激光技术准分子激光波面整形巴特沃斯分布盖师贝格-撒克斯通算法 laser technique excimer laser wavefront

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