工程零部件失效常源于表面，微组织结构显著影响甚至决定工程零部件使役性能，表面纳米化技术可诱导材料微组织结构变化产生纳米晶结构表面层，增大表层残余压应力，对材料性能有极其重要的影响。首先综述了表面纳米化诱导微组织结构变化的过程及机理，诱导材料产生晶粒细化、位错运动、残余压应力增大、相变等微观变化，诱因有塑性变形、温度变化、元素渗入等。其次归纳了表面纳米化对材料性能的影响及其机理，上述微观变化对材料疲劳强度、耐腐蚀性、摩擦磨损性能、生物学性能等产生显著影响。总结了各个典型表面纳米化工艺的特点，相比于其他表面纳米化技术，超声振动辅助加工具有不需引入其它元素、不污染环境、原理简单、高速高质量、成本低廉、可依托于各种传统加工工艺等优势，对材料摩擦磨损性能、疲劳性能、生物学性能、表面浸润性和耐腐蚀性等具有积极作用。最后对表面纳米化工艺的未来发展做了展望，其中针对性分析了超声振动辅助加工。针对纳米晶结构表面层的数字化仿真模拟极其匮乏这一现状，将模拟仿真与试验相结合，分析微组织结构与加工参数、微组织结构与材料性能的映射关系并建立模型直观反映尚需更全面系统的研究。材料的某些性能可能不会同时达到最优值，依托于上述模型的综合评价体系有待建立，纳米晶结构表面层基于相变动力学的高温稳定性等仍需深入分析探索。超声振动辅助加工技术的关键制约因素有待不断完善，新材料的开发和技术手段的改进都是重要研究内容。超声振动辅助加工与其它表面纳米化方法组合使用是可探讨研究之处，优势互补或许可进一步诱导产生更优异的材料性能。