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柔性热电材料和器件由于能适形地附着在热源上直接将热量转化为电能的能力而越来越受关注。利用磁控溅射系统生长n型热电材料Bi_2Te_(2.7)Se_(0.3)和p型热电材料Bi_(0.5)Sb_(1.5)Te_3并设计制造了一种柔性热电薄膜发电器件,利用搭建的测量系统,测量了器件水平上的塞贝克系数(S)和电导率(σ)及柔性热电薄膜发电器件的输出性能。当温差为100 K,柔性热电薄膜发电器件的输出电压和最大输出功率分别达到了75.2 m V和1.85μW。与现有的柔性热电薄膜发电器件相比,该器件制造方法简捷并