偏转像差中束夹角α的高次项研究

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通过计算超大偏转角下二极场的偏转像差,对偏转像差中α高次项进行了分析,得出了超大偏转角下α高次项不应忽略的结论。并应用多极场理论,研究了超大偏转角下十四极场对α高次项的校正作用。提出了在超大偏转角下偏转像差的多极场校正方法。 By calculating the deflection aberration of the bipolar field under the oversized deflection angle, the high-order α term in the deflection aberration is analyzed, and the conclusion that the high-order α term should not be ignored under the super-large deflection angle is obtained. The multi-polar field theory is used to study the corrections of the quadrupole field at higher magnitudes of α under the oversized deflection angle. A multi-polar field correction method for deflecting aberrations at very large deflection angles is proposed.
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