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针对电脑芯片的制造涉及到许多化学反应，介绍了单晶硅晶片的制备、外延、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等化学反应过程。
电脑芯片中的化学
【摘 要】
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针对电脑芯片的制造涉及到许多化学反应，介绍了单晶硅晶片的制备、外延、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等化学反应过程。
【机 构】
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河北师范大学化学与材料科学学院
【出 处】
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化学教育
【发表日期】
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2007年7期
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