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近来,三元Me-Si-N复合膜因具有超硬效应而受到广泛关注.迄今为止大量研究集中于Ti-Si-N体系,其他体系报道较少.ZrN薄膜的力学性能与TiN薄膜相近,也是一种得到工业应用的硬质涂层材料.
Zr-Si-N纳米晶复合膜的生长结构
【摘 要】
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近来,三元Me-Si-N复合膜因具有超硬效应而受到广泛关注.迄今为止大量研究集中于Ti-Si-N体系,其他体系报道较少.ZrN薄膜的力学性能与TiN薄膜相近,也是一种得到工业应用的硬质
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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