【摘 要】
：
利用PE3061D型平板式外延炉,在150mm的重掺As的硅单晶衬底上采用化学气相沉积(CVD)方法制备参数可控且高均匀性的外延层,通过聚光灯、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所,
论文部分内容阅读
利用PE3061D型平板式外延炉,在150mm的重掺As的硅单晶衬底上采用化学气相沉积(CVD)方法制备参数可控且高均匀性的外延层,通过聚光灯、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、汞探针电容-电压测试仪(Hg CV)等测试设备分别研究了外延层的表面形貌、微粗糙度、厚度、电阻率以及均匀性参数。采用了基座浅层包硅技术、周期性滞留层杂质稀释技术、高温快速二次本征生长技术、温场流场调控技术等新型工艺技术,使外延层厚度满足(15±2%)μm,电阻率满足(15±2%)Ω·cm的设计要求,片内厚度和电阻率不均匀性达到<2%的水平。制备的硅外延材料应用于FRED的试产,击穿电压高于125V,晶圆的成品率达到90%以上,满足了120VFRED器件使用要求,实现了自主可控。
其他文献
对于上市公司来说，定向增发可以为公司的发展和成长提供资金，尤其为投资者提供良好的投资机会。短期财富效应是指证券市场各因素引起股价发生波动而给股东带来的额外收益。因此
在微穿孔吸声理论基础上,进一步分析研究和实验验证微穿孔隔热铝板的厚度基、压花类型、有无穿孔这三个因素对吸声性能的影响及贡献度。本文首先通过测试平板样件的传递损失,
互联网在信息技术的发展及数字化校园的普及中发挥了不可替代的作用，更重要的是改变人们获取信息的方式，而基于B／S（Browser／Server）模式的信息发布管理系统，更显示了在网络发展中的
原告：A股份有限公司。被告：B有限责任公司。原告诉称：原告A股份有限公司是一家著名的酒店经营公司，其在饭店、餐馆、美容院等服务项目上皆注册了“CDE”商标。
文章通过对79所"211工程"院校图书馆微信公众号推送平台和栏目设置的静态阅读推广资源状况分析,以了解微信公众号助推图书馆阅读推广工作现状。结果显示:微信公众号上共有11
中美贸易摩擦绝不仅仅关涉贸易问题,贸易问题只是美国发起贸易摩擦的"借口",其实质是要打压中国的发展,因此我们必须跳出贸易本身全面考量它,方可能做好充分准备。意识形态就
<正>0引言微穿孔吸声材料起源于上世纪60年代,因其较强的环境适用性以及良好的吸声性能,已成为最具前途的吸声材料之一[1,2]。相对于普通穿孔板较大的穿孔孔径,微穿孔板穿孔
目的:评价术前CT扫描对食管癌淋巴结转移的诊断价值,并对术前CT扫描及术后病理显示的不同淋巴结转移数、转移的区域数进行预后评估,同时分析相关因素对预后的影响。方法:本研
编辑同志:$$ 我在某公司工作了近十年，九个月前的一个假日，我骑摩托车外出，与一大型货车相撞。事后经过抢救性命无忧，却瘫痪了，我再不能从事原来的工作，也难以胜任公司新安