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采用射频磁控溅射法制备了钛酸锶钡薄膜材料,研究了薄膜的晶体结构和微观形貌,测试了其偏压特性曲线和电滞回线.初步探讨了εr-E曲线、电滞回线发生平移的原因:上下电极与钛酸锶钡薄膜间的界面势垒不对称.
射频磁控溅射法制备BST薄膜及性能研究
【摘 要】
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采用射频磁控溅射法制备了钛酸锶钡薄膜材料,研究了薄膜的晶体结构和微观形貌,测试了其偏压特性曲线和电滞回线.初步探讨了εr-E曲线、电滞回线发生平移的原因:上下电极与钛
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2005年3期
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